Description
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Item | Equipment Category | Equipment Category-EN | Model | Maker | Wafer Size |
1 | 步进光刻机 | Stepper | NSR-1755i7A | 日本 Nikon | 150mm |
2 | HF蒸汽清洗机 | HF FUME | EXCALIBUR2000 | 美国 Semitool | 150mm |
3 | PECVD | PECVD | CONCEPT ONE-150 | 美国 Novellus | 150mm |
4 | PECVD | PE-TEOS | CONCEPT ONE-150 | 美国 Novellus | 150mm |
5 | PECVD | PECVD | P5000 | 美国 AMAT | 200mm |
6 | UV固胶机 | UV Bake | M150PC | 美国 Fusion | 150mm |
7 | UV固胶机 | UV Bake | M150PC | 美国 Fusion | 150mm |
8 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | 4500i | 美国 LAM | 150mm |
9 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | 4500IB | 美国 LAM | 150mm |
10 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | TYLAN TAKUDA | 日本 TAKUDA | 150mm |
11 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | TYLAN TAKUDA | 日本 TAKUDA | 150mm |
12 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | Matrix 303 | 美国 Matrix | 150mm |
13 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | Matrix 403 | 美国 Matrix | 150mm |
14 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | Matrix 403 | 美国 Matrix | 150mm |
15 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | AMAT8116 | 美国 AMAT | 150mm |
16 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | AMAT8116 | 美国 AMAT | 150mm |
17 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | AMAT8336 | 美国 AMAT | 150mm |
18 | 二氧化硅涂布机 | SOG | TR6133UD | 美国 SEMIX | 150mm |
19 | 剖面电镜 | SEM | XL40 | FEI | |
20 | 化学机械抛光机 | CMP | EPO-222 | 日本 EBARA | 200mm |
21 | 化学机械抛光机 | CMP | IPEC472 | 美国 Novellus | 150mm |
22 | 卧式扩散炉 | Furnace | SVG5200 | 美国 SVG | 150mm |
23 | 卧式扩散炉 | Furnace | SVG5200 | 美国 SVG | 150mm |
24 | 卧式扩散炉 | Furnace | SVG5200 | 美国 SVG | 150mm |
25 | 卧式扩散炉 | Furnace | SVG5200 | 美国 SVG | 150mm |
26 | 双面光刻机 | BSA Aligner | EVG620 | 美国 EVG | 150mm |
27 | 台阶仪 | Profile | P10 | 美国 KLA Tencor | 150/200mm |
28 | 台阶仪 | Profile | P11 | 美国 KLA Tencor | 150/200mm |
29 | 台阶仪 | Profile | P11 | 美国 KLA Tencor | 150/200mm |
30 | 台阶仪 | Profile | P11 | 美国 KLA Tencor | 150/200mm |
31 | 外延缺陷检测仪 | Luminescence Defect Inspection System | Inpectra PL | 日本 东丽工程 | 150mm |
32 | 多晶刻蚀机 | Poly Etch | LAM 9400 POLY | 美国 LAM | 150mm |
33 | 套刻检测仪 | Overlay | KLA 5100XP | 美国 KLA Tencor | 200mm |
34 | 套刻检测仪 | Overlay | KLA 5200XP | 美国 KLA Tencor | 200mm |
35 | 快速退火炉 | RTP | AG8108 | 美国 AG Associate | 150mm |
36 | 接触/接近式光刻机 | Mask Aligner | MA6 | 德国 SUSS | 100mm |
37 | 接触/接近式光刻机 | Mask Aligner | MA6 | 德国 SUSS | 150mm |
38 | 接触/接近式光刻机 | Mask Aligner | MA150 CC | 德国 SUSS | 150mm |
39 | 步进光刻机 | Stepper | NSR-2005i8A | 日本 Nikon | 150/200mm |
40 | 步进光刻机 | Stepper | NSR-2005i8A | 日本 Nikon | 150/200mm |
41 | 步进光刻机 | Stepper | NSR-4425i | 日本 Nikon | 150mm |
42 | 涂胶显影机 | Track | Mark V | 日本 TEL | 150mm |
43 | 涂胶显影机 | Track | Mark V | 日本 TEL | 150mm |
44 | 涂胶显影机 | Track | Mark Vz | 日本 TEL | 150mm |
45 | 涂胶显影机 | Track | Mark 7 | 日本 TEL | 150mm |
46 | 涂胶显影机 | Track | DNS 80B | 日本 DNS | 150mm |
47 | 深槽刻蚀机 | Trench Etch | LAM 9400 TRENCH | 美国 LAM | 150mm |
48 | 溅射台 | Sputter | 3290STQ | 美国 Varian | 150mm |
49 | 溅射台 | Sputter | 3290STQ | 美国 Varian | 150mm |
50 | 硅片减薄机 | Grinder | DFG840 | 日本 DISCO | 150mm |
51 | 硅片减薄机 | Grinder | DFG841 | 日本 DISCO | 200mm |
52 | 立式LPCVD | Vertical LP-CVD | DJ-802V-H | 日本 KOKUSAI | 150mm |
53 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DD-802V-H | 日本 KOKUSAI | 150mm |
54 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DD-802V-H | 日本 KOKUSAI | 150mm |
55 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DD-802V-H | 日本 KOKUSAI | 150mm |
56 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DD-802V-H | 日本 KOKUSAI | 150mm |
57 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DD-802V-H | 日本 KOKUSAI | 150mm |
58 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DJ-803V-H | 日本 KOKUSAI | 200mm |
59 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DJ-803V-H | 日本 KOKUSAI | 200mm |
60 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DD-803V-H | 日本 KOKUSAI | 200mm |
61 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DD-803V-H | 日本 KOKUSAI | 200mm |
62 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DD-803V-H | 日本 KOKUSAI | 200mm |
63 | 红外自动检测显微镜 | AOI(IR) | MX1000 | 美国 Phoseon Tech | 150mm |
64 | 红外自动检测显微镜 | AOI(IR) | MX1001 | 美国 Phoseon Tech | 150mm |
65 | 红外自动检测显微镜 | AOI(IR) | MX1002 | 美国 Phoseon Tech | 150mm |
66 | 脱膜机 | De-Taper | HR 8500 II | 日本 NITTO | 200mm |
67 | 膜厚检测仪 | Film Thickness | OP2600 | 美国 Thermwave | 150mm |
68 | 膜厚检测仪 | Film Thickness | NANO 215S | 美国 Nanometrics | 150mm |
69 | 自动探针台 | Prober | EG2010CX | 美国 Electroglass | 150mm |
70 | 自动探针台 | Prober | EG2010CX | 美国 Electroglass | 150mm |
71 | 自动探针台 | Prober | EG2010CX | 美国 Electroglass | 150mm |
72 | 自动显微镜 | Auto Microscope | NWL641 | 日本 Nikon | 150mm |
73 | 自动清洗机 | Auto Pre-Clean | Mercury MP | 美国 FSI | 150mm |
74 | 表面粗糙度检测仪 | Roughness Tester | Roughness | 日本 KOSAKA | 150mm |
75 | 贴膜机 | Taper | DR 8500 II | 日本 NITTO | 200mm |
76 | 金属污染检测仪 | Reflection X-Ray Fluorescence Spectrometer | Trex 610 | 美国 Technos | 200mm |
77 | 金属污染检测仪 | Reflection X-Ray Fluorescence Spectrometer | Trex 610 | 美国 Technos | 150mm |
78 | 颗粒检测仪 | Particle | WM3 | 日本 TOPCON | 150mm |
79 | 颗粒检测仪 | Particle | Tencor 6100 | 美国 KLA Tencor | 150mm |
80 | 颗粒检测仪 | Particle | SFS 7600 | 美国 KLA Tencor | 150/200mm |
81 | 颗粒检测仪 | Particle | SFS 7600 | 美国 KLA Tencor | 150/200mm |
SS7912