Description
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| Item | Equipment Category | Equipment Category-EN | Model | Maker | Wafer Size |
| 1 | 步进光刻机 | Stepper | NSR-1755i7A | 日本 Nikon | 150mm |
| 2 | HF蒸汽清洗机 | HF FUME | EXCALIBUR2000 | 美国 Semitool | 150mm |
| 3 | PECVD | PECVD | CONCEPT ONE-150 | 美国 Novellus | 150mm |
| 4 | PECVD | PE-TEOS | CONCEPT ONE-150 | 美国 Novellus | 150mm |
| 5 | PECVD | PECVD | P5000 | 美国 AMAT | 200mm |
| 6 | UV固胶机 | UV Bake | M150PC | 美国 Fusion | 150mm |
| 7 | UV固胶机 | UV Bake | M150PC | 美国 Fusion | 150mm |
| 8 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | 4500i | 美国 LAM | 150mm |
| 9 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | 4500IB | 美国 LAM | 150mm |
| 10 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | TYLAN TAKUDA | 日本 TAKUDA | 150mm |
| 11 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | TYLAN TAKUDA | 日本 TAKUDA | 150mm |
| 12 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | Matrix 303 | 美国 Matrix | 150mm |
| 13 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | Matrix 403 | 美国 Matrix | 150mm |
| 14 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | Matrix 403 | 美国 Matrix | 150mm |
| 15 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | AMAT8116 | 美国 AMAT | 150mm |
| 16 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | AMAT8116 | 美国 AMAT | 150mm |
| 17 | 二氧化硅刻蚀机 | Oxide Etch | AMAT8336 | 美国 AMAT | 150mm |
| 18 | 二氧化硅涂布机 | SOG | TR6133UD | 美国 SEMIX | 150mm |
| 19 | 剖面电镜 | SEM | XL40 | FEI | |
| 20 | 化学机械抛光机 | CMP | EPO-222 | 日本 EBARA | 200mm |
| 21 | 化学机械抛光机 | CMP | IPEC472 | 美国 Novellus | 150mm |
| 22 | 卧式扩散炉 | Furnace | SVG5200 | 美国 SVG | 150mm |
| 23 | 卧式扩散炉 | Furnace | SVG5200 | 美国 SVG | 150mm |
| 24 | 卧式扩散炉 | Furnace | SVG5200 | 美国 SVG | 150mm |
| 25 | 卧式扩散炉 | Furnace | SVG5200 | 美国 SVG | 150mm |
| 26 | 双面光刻机 | BSA Aligner | EVG620 | 美国 EVG | 150mm |
| 27 | 台阶仪 | Profile | P10 | 美国 KLA Tencor | 150/200mm |
| 28 | 台阶仪 | Profile | P11 | 美国 KLA Tencor | 150/200mm |
| 29 | 台阶仪 | Profile | P11 | 美国 KLA Tencor | 150/200mm |
| 30 | 台阶仪 | Profile | P11 | 美国 KLA Tencor | 150/200mm |
| 31 | 外延缺陷检测仪 | Luminescence Defect Inspection System | Inpectra PL | 日本 东丽工程 | 150mm |
| 32 | 多晶刻蚀机 | Poly Etch | LAM 9400 POLY | 美国 LAM | 150mm |
| 33 | 套刻检测仪 | Overlay | KLA 5100XP | 美国 KLA Tencor | 200mm |
| 34 | 套刻检测仪 | Overlay | KLA 5200XP | 美国 KLA Tencor | 200mm |
| 35 | 快速退火炉 | RTP | AG8108 | 美国 AG Associate | 150mm |
| 36 | 接触/接近式光刻机 | Mask Aligner | MA6 | 德国 SUSS | 100mm |
| 37 | 接触/接近式光刻机 | Mask Aligner | MA6 | 德国 SUSS | 150mm |
| 38 | 接触/接近式光刻机 | Mask Aligner | MA150 CC | 德国 SUSS | 150mm |
| 39 | 步进光刻机 | Stepper | NSR-2005i8A | 日本 Nikon | 150/200mm |
| 40 | 步进光刻机 | Stepper | NSR-2005i8A | 日本 Nikon | 150/200mm |
| 41 | 步进光刻机 | Stepper | NSR-4425i | 日本 Nikon | 150mm |
| 42 | 涂胶显影机 | Track | Mark V | 日本 TEL | 150mm |
| 43 | 涂胶显影机 | Track | Mark V | 日本 TEL | 150mm |
| 44 | 涂胶显影机 | Track | Mark Vz | 日本 TEL | 150mm |
| 45 | 涂胶显影机 | Track | Mark 7 | 日本 TEL | 150mm |
| 46 | 涂胶显影机 | Track | DNS 80B | 日本 DNS | 150mm |
| 47 | 深槽刻蚀机 | Trench Etch | LAM 9400 TRENCH | 美国 LAM | 150mm |
| 48 | 溅射台 | Sputter | 3290STQ | 美国 Varian | 150mm |
| 49 | 溅射台 | Sputter | 3290STQ | 美国 Varian | 150mm |
| 50 | 硅片减薄机 | Grinder | DFG840 | 日本 DISCO | 150mm |
| 51 | 硅片减薄机 | Grinder | DFG841 | 日本 DISCO | 200mm |
| 52 | 立式LPCVD | Vertical LP-CVD | DJ-802V-H | 日本 KOKUSAI | 150mm |
| 53 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DD-802V-H | 日本 KOKUSAI | 150mm |
| 54 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DD-802V-H | 日本 KOKUSAI | 150mm |
| 55 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DD-802V-H | 日本 KOKUSAI | 150mm |
| 56 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DD-802V-H | 日本 KOKUSAI | 150mm |
| 57 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DD-802V-H | 日本 KOKUSAI | 150mm |
| 58 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DJ-803V-H | 日本 KOKUSAI | 200mm |
| 59 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DJ-803V-H | 日本 KOKUSAI | 200mm |
| 60 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DD-803V-H | 日本 KOKUSAI | 200mm |
| 61 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DD-803V-H | 日本 KOKUSAI | 200mm |
| 62 | 立式扩散炉 | Vertical Furnace | DD-803V-H | 日本 KOKUSAI | 200mm |
| 63 | 红外自动检测显微镜 | AOI（IR） | MX1000 | 美国 Phoseon Tech | 150mm |
| 64 | 红外自动检测显微镜 | AOI（IR） | MX1001 | 美国 Phoseon Tech | 150mm |
| 65 | 红外自动检测显微镜 | AOI（IR） | MX1002 | 美国 Phoseon Tech | 150mm |
| 66 | 脱膜机 | De-Taper | HR 8500 II | 日本 NITTO | 200mm |
| 67 | 膜厚检测仪 | Film Thickness | OP2600 | 美国 Thermwave | 150mm |
| 68 | 膜厚检测仪 | Film Thickness | NANO 215S | 美国 Nanometrics | 150mm |
| 69 | 自动探针台 | Prober | EG2010CX | 美国 Electroglass | 150mm |
| 70 | 自动探针台 | Prober | EG2010CX | 美国 Electroglass | 150mm |
| 71 | 自动探针台 | Prober | EG2010CX | 美国 Electroglass | 150mm |
| 72 | 自动显微镜 | Auto Microscope | NWL641 | 日本 Nikon | 150mm |
| 73 | 自动清洗机 | Auto Pre-Clean | Mercury MP | 美国 FSI | 150mm |
| 74 | 表面粗糙度检测仪 | Roughness Tester | Roughness | 日本 KOSAKA | 150mm |
| 75 | 贴膜机 | Taper | DR 8500 II | 日本 NITTO | 200mm |
| 76 | 金属污染检测仪 | Reflection X-Ray Fluorescence Spectrometer | Trex 610 | 美国 Technos | 200mm |
| 77 | 金属污染检测仪 | Reflection X-Ray Fluorescence Spectrometer | Trex 610 | 美国 Technos | 150mm |
| 78 | 颗粒检测仪 | Particle | WM3 | 日本 TOPCON | 150mm |
| 79 | 颗粒检测仪 | Particle | Tencor 6100 | 美国 KLA Tencor | 150mm |
| 80 | 颗粒检测仪 | Particle | SFS 7600 | 美国 KLA Tencor | 150/200mm |
| 81 | 颗粒检测仪 | Particle | SFS 7600 | 美国 KLA Tencor | 150/200mm |
SS7912
